超导转变边探测器 (TES) 的电热仿真

吕越 [1],
[1] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Published in 2017

超导转变边沿探测器 (TES) 是一种电压偏置的电热器件,稳态时超导薄膜产生的焦耳热与通过热连接传递到热沉的热量相等。本文利用有限元仿真软件 COMSOL Multiphysics® 对处于热平衡的 TES 进行了电流-热传导仿真。得到稳态时TES器件的温度分布,并计算得到TES器件的关键参数热导 G,同时得到了器件处于稳态时薄膜温度与偏置电压 (V-T) 的关系,这对于器件设计有着极大的帮助。

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